賽默飛ICP光譜儀以電感耦合高頻等離子體為激發光源，利用每種元素的原子或離子發射特征光譜來判斷物質的組成，進行元素的定性與定量分析。主要用于微量元素的分析，可分析的元素為大多數金屬以及硅、磷、硫等少量非金屬，廣泛應用于質量控制的元素分析。它不僅可以對超微量元素進行檢測，還可以對常量元素進行檢測，成為分析儀器領域越來越強有力的研究工具。